1. 研究目的与意义
背景：上世纪中叶，单晶硅作为半导体生产的基础材料伴随着半导体晶体管的发明以及硅集成电路的研制成功引发了电子工业革命。
当初硅晶锭的锯切主要使用超薄金刚石圆锯片和超薄金刚石内圆锯片。
直到上世纪90年代"随着电子工业的迅速发展，国际上为了解决大尺寸硅晶片的切割问题逐渐采用了钱锯切技术。
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2. 课题关键问题和重难点
关键问题：
1.影响线锯机切割质量的因素
2.评价切割质量的主要技术指标
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3. 国内外研究现状（文献综述）
微型线锯机的文献综述
微型线锯机设计的主题主要是通过已有线锯机可以实现的功能为基础，再根据被需要加工的工件的特定的形状和特定的加工工艺，从而来确定的专用的部件等部分组成的专用型组合台式的微型线锯机。
微型线锯机的主要组成部分为动力源，支架尾座，加工进给部分以及刀具等几个部分组成，我们通过对甲供材料的力学分析，线锯可切割的印度范围，对有关数据进行分析计算，确定机械结构的基本参数，然后对整个设计方案进行论证，最后完成对微型钻铣床的总体设计。
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4. 研究方案
研究方法及技术路线：
1.参考各种书籍以及文献，了解线锯机的参数设定的方法，对线锯机的结构有一个初步的认识，理解线锯机的工作原理。
2.学习已有线锯机的构成，在已有线锯机的基础上，确定最初设计方案。
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5. 工作计划
毕业设计前一学期末完成英文翻译，收集、查阅、文献资料并准备开题报告。
第1周完成英文翻译，提交英文翻译给指导老师批阅。
第2周英文翻译经指导老师批阅合格并确认后，译文和原文均用PDF格式，上传至毕业设计管理系统。译文封面用标准模板。
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以上是毕业论文开题报告，课题毕业论文、任务书、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
