1. 研究目的与意义
在现代光学乃至现代物理学和科学技术中,光的衍射得到了越来越广泛的应用。
如菲涅尔透镜、二元光学器件等,而菲涅尔透镜更是运用在大到航空航海,小到我们日常生活中的智能家居等。
工艺制造上机械加工是的传统工艺制造的主要制造方式,但机械加工在精度上已无法满足轻量化,低成本等各方方面要求,而半导体工艺恰恰能满足机械制造的不足,所以半导体工艺必然是日后制造工艺发展的重点。
2. 课题关键问题和重难点
1. 像素点是没有大小的,所以第一步就是需要对图像的像素点的大小进行定义。
2. 目前,常用的BMP格式文件转GDS格式文件的方法是使用LINKCAD软件,但我们无法对其算法进行直接研究,二值图的定义是:图像上每一像素单元只有两种可能的数值或灰度等级状态的图像。
我们需要研究将图像上原本的256(2^8)个灰度值转成16^2的二值点阵的算法。
3. 国内外研究现状(文献综述)
三、文献综述(或调研报告)(1200字左右)衍射光学元件可分为二元光学元件和连续浮雕位相衍射光学元件两大类。
二元光学元件的制作是通过微电子加工工艺中的光束或电子束制版技术,将计算机设计的衍射图案写到感光材料上,再通过刻蚀技术,将感光层上的图案复制到基片上.从而最终形成探度为亚微米量级的表面结构。
二元光学元件制作方法需多次重复掩模图形转印和刻蚀过程,加工环节多、周期长、成本高且对准精度难以控制。
4. 研究方案
1. 使用Matlab图形处理软件分析原始图像的灰度值2. 用算法对其像素进行定义3. 将BMP位图转化为二值图,目前有很多软件支持上述的转换,如:可利用photoshop和windows画图程序实现,但我们要对16^2的二值图进行处理,因此决定使用C语言编程对图片处理4. 二值图文件转换为.cif文件(一种由ASCII码组成的文本文件)5. 将.cif文件转化为.gds文件(可使用linkcad、L-edit软件进行转换)
5. 工作计划
第 1 周 接受任务书,领会课题含义,按要求查找相关资料;第 2 周 阅读相关资料,理解有关内容;第 3 周 翻译相关英文资料,提出拟完成本课题的方案,写出相关开题报告一份;第 4 周 确定研究图像的格式,参阅有关资料,了解图像格式与gds格式的差异;第 5 周 确定两个数据格式的转换方式方案;第 6 周 编写转换两格式所需要的程序;完成中期检查;第 7 周 对程序部分进行测试,并做出调整,确保两个格式之间能成功转换; 第 8 周 测试gds格式文件在掩模板上的清晰度,并做调整,确定优化方案;第 9 周 测试优化方案的可行性;第10周 出掩模板实物,整理程序等资料,准备撰写论文;第11周 修改、完善并提交毕业论文; 第12周 评阅教师评阅论文,学生根据指导意见修改论文;验收实物成果,接受答辩资格审查;第13周 准备参加答辩第14周 毕业设计答辩及成绩评定。
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