1. 本选题研究的目的及意义
氧化锌（ZnO）作为一种宽禁带直接带隙半导体材料，具有优异的光电性能、化学稳定性和压电性能，在光电子器件、传感器、太阳能电池等领域有着广泛的应用前景。
薄膜厚度是影响ZnO薄膜光电性质的关键因素之一。
研究薄膜厚度对ZnO薄膜光电性质的影响规律，对于优化ZnO薄膜的制备工艺、提高其光电性能具有重要意义。
2. 本选题国内外研究状况综述
氧化锌薄膜的光电性质一直是材料科学领域的热点研究课题。
近年来，国内外学者在ZnO薄膜的制备、表征、光电性质及其应用方面开展了大量的研究工作，取得了一系列重要成果。
1. 国内研究现状
3. 本选题研究的主要内容及写作提纲
本研究将采用磁控溅射法制备不同厚度的ZnO薄膜，系统研究薄膜厚度对ZnO薄膜结构、光学和电学性质的影响规律。
1. 主要内容
1.制备不同厚度的ZnO薄膜，并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等手段表征其晶体结构和表面形貌。
4. 研究的方法与步骤
本研究将采用以下方法和步骤进行：1.实验准备：准备ZnO靶材、衬底材料(如石英玻璃、硅片等)、磁控溅射仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、霍尔效应测试仪等实验设备和材料。
2.薄膜制备：采用磁控溅射法在不同溅射时间下制备一系列厚度不同的ZnO薄膜。
通过控制溅射时间、溅射功率、衬底温度等参数来控制薄膜的厚度和质量。
5. 研究的创新点
本研究的创新点在于系统研究了ZnO薄膜厚度对其光电性质的影响规律，并结合晶体结构和表面形貌分析，深入探讨了厚度变化对ZnO薄膜光学和电学性质的影响机制。
本研究将为ZnO薄膜的制备工艺优化和性能提升提供理论依据和实验指导，并推动其在光电子器件领域的应用。
6. 计划与进度安排
第一阶段 （2024.12~2024.1）确认选题，了解毕业论文的相关步骤。
第二阶段（2024.1~2024.2）查询阅读相关文献，列出提纲
第三阶段（2024.2~2024.3）查询资料，学习相关论文
7. 参考文献（20个中文5个英文）
[1] 王磊, 郭鹏, 常爱民, 等. 氧化锌薄膜气敏特性研究进展[J]. 材料导报, 2018, 32(S1): 319-324.
[2] 张艳峰, 刘颖, 张倩, 等. 氧化锌薄膜的制备及其气敏特性研究[J]. 功能材料, 2018, 49(6): 6053-6058.
[3] 李伟, 董国波, 王世敏, 等. 氧化锌薄膜的制备工艺及其光学特性研究[J]. 功能材料, 2019, 50(1): 1003-1009.
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