1. 本选题研究的目的及意义
氧化锌（ZnO）作为一种重要的II-VI族直接带隙半导体材料，具有优异的光学、电学和压电性能，在光电子器件、传感器、太阳能电池等领域有着广泛的应用。
而薄膜作为一种重要的材料形式，其性质受制备工艺、外界环境等因素影响较大。
其中，内应力是影响薄膜性质的重要因素之一，它会导致薄膜结构发生变化，进而影响薄膜的性能。
2. 本选题国内外研究状况综述
近年来，国内外学者对氧化锌薄膜的制备、性能及其应用进行了大量的研究。
其中，关于内应力对氧化锌薄膜性质影响的研究也受到广泛关注。
1. 国内研究现状
3. 本选题研究的主要内容及写作提纲
本研究将采用磁控溅射法制备不同内应力的氧化锌薄膜，利用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、椭圆偏振仪等表征手段对薄膜的微结构、表面形貌、光学性质进行系统表征，分析内应力对氧化锌薄膜折射率的影响规律，并探讨其内在机制。
1. 主要内容
1.制备不同内应力的氧化锌薄膜，并对其进行结构、形貌和光学性质表征。
4. 研究的方法与步骤
本研究将采用以下方法和步骤开展研究：1.查阅相关文献，了解内应力、氧化锌薄膜、光学性质等方面的研究现状和发展趋势，掌握相关的理论知识和实验技能。
2.利用磁控溅射法在不同的工艺参数（如溅射功率、溅射气压、衬底温度等）下制备氧化锌薄膜。
3.利用X射线衍射仪（XRD）对制备的氧化锌薄膜进行晶体结构分析，确定其晶型、晶粒尺寸等信息。
5. 研究的创新点
本研究的创新点在于系统研究了不同制备条件下氧化锌薄膜的内应力变化规律，以及内应力对氧化锌薄膜折射率的影响规律，并结合薄膜的微结构分析，深入探讨了内应力影响氧化锌薄膜折射率的微观机制，为制备具有可控折射率的氧化锌薄膜提供了理论依据。
6. 计划与进度安排
第一阶段 （2024.12~2024.1）确认选题，了解毕业论文的相关步骤。
第二阶段（2024.1~2024.2）查询阅读相关文献，列出提纲
第三阶段（2024.2~2024.3）查询资料，学习相关论文
7. 参考文献（20个中文5个英文）
[1] 王波, 刘欢, 许波, 等. ZnO薄膜内应力的调控及其对光电性能的影响[J]. 真空科学与技术学报, 2020, 40(11): 1274-1282.
[2] 张倩, 吴云, 刘俊, 等. 沉积温度对磁控溅射ZnO薄膜结构和光学性能的影响[J]. 光学学报, 2019, 39(12): 1231002.
[3] 郑飞, 王玉, 刘畅, 等. Al掺杂ZnO薄膜内应力与光电性能关系研究[J]. 功能材料, 2021, 52(05): 5075-5080.
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