一种柔性微流速传感器设计开题报告

1）课题的背景

我国是一个海洋资源大国，但是目前海洋生物环境和领海安全问题依旧形式严峻，同时现阶段我国对海洋的研究已从横向延伸向纵向探索发展，因而对于精密的水下探测设备有了更高的要求^[1]。

随着人们生产生活水平的不断提高和科技水平的不断发展，流量测量广泛应用在工业，医疗，航海，航空以及化工领域。测量流量对于我们的日常生活、工业生产和科学研究具有重要的指导意义。随着探索要求的不断提高，人们对流速传感器也有了更大的需求，传统的流速传感器如涡流流速计，热线风速仪^[2]存在体积偏大，结构复杂以及灵敏度低等缺点已经越来越不满足人类的技术要求。于是基于柔性MEMS技术的流速计得到了迅速地发展。
柔性MEMS技术^[3～5]，是在柔性衬底上制作MEMS器件^[6]，或在加工时使用使用柔性材料，增大整个器件的柔性，能其可以承受较大变形和弯曲。柔性MEMS可以将器件制成一个整体，有效减少加工零件并减少装配步骤，通过这一技术加工的器件具有很好的柔性和吸附性，可以适应新时代海洋探测的要求。

2. 研究内容和预期目标

研究内容：设计一种结构较为简单的仿生柔性微流速传感器，该传感器可以减弱噪声，有较高的柔韧性和矢量性，可以更好地推动柔性MEMS传感器用于水下探测。

3. 研究的方法与步骤

研究方法：了解国内外关于流速传感器的研究现状，学习仿生原理，压电原理以及MEMS技术。查阅相关文献，研究柔性微流速传感器的加工工艺并建立数学模型并且分析，最后结合实际要求进行模拟仿真。

研究步骤：

4. 参考文献