1. 研究目的与意义
| 兆赫超声波清洗技术是指采用频率700kHz- 2MHz 的超声波进行清洗。清洗系统一般由压 电换能器、清洗容器和清洗液、高频电功率发生器及控制电路等组成，对于某些特定的清洗对象，有时还配有热空气烘干、专用清洗架及清洗液的过滤循环系统。兆赫超声波清洗技术的主要特点，一是避免了高光洁度物体的表面损伤:二是可除去附着在表面的亚微米大小的颗粒:三是浸入液体中，面向换能器的-面能被洗净，所以要进行两面清洗。目前，国外市场上已有商用的兆赫超声波清洗设备。美国Verteq、 Imtec、 ProSys公司已开发出这类设备用于半导体生产线上，在对100- 300mm 硅片的清洗中，可除去硅片表面上小到0.15pm 的微小颗粒，而且可加快漂洗过程并有效地阻止粒子在硅片表面上重新附着。兆赫超声波清洗是国外许多大规模集成电路制造厂家生产过程中不可缺少的标准设备。超声波的作用原理超声波清洗的原理，在理论要加以阐述是比较复杂的，里面牵沙许多因素和作用
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2. 研究内容与预期目标
在超声清洗技术中，在清抚覆甲广生一个 尚强趣声物走伏疋消沈效果的关键.由于超声场特性是由声源和媒质参数决定的，因此人们围绕这两个方面做了很多研究工作。人们研究了媒质的物理化学性质，如温度，媒质表面张力、粘性、蒸汽压等，以及声源参数，如声乐，频率等对高强超声场特性的影1响11.28-22]。由于超声清洗均是在有限空间内进行，超声处理槽中的高强超声场均是驻波场。驻波场的特点是在液体空间的某些地方强度大，而在另外一些地方强度小，这样造成了超声处理声场的不均匀，这是超声处理中所不希望的。为了改善声场强度的均匀性，人们采用了改变超声处理槽形状123-27], 在一个超声处理槽中采用两个、三个和多个频率的超声波126-32,采用调频技术。
超声清洗系统中，常用“振板声源'来产生所需的高强超声场。振板声源是由多个超声换能器粘于钢板上构成的，钢板上所用换能器的个数取决于工程要求，一般从几个到上百个不等。当振板声源的换能器以同一电信号激励时，换能器推动钢板振动，振板声源向液体中辐射超声波，在超声处理槽中即得到高强超声场。
3. 研究方法与步骤
本课题拟采用先进行模拟分析后进行实验的方法进行研究，主要采用有限元分析，研究步骤如下：
1、设计喷淋式兆赫级超声振动清洗装置的各个组成部分，包括换能器、变幅杆，使得喷淋式兆赫级超声振动清洗装置各个部分固有频率相近甚至相同，以达到谐振的目的。
2、模拟喷淋式兆赫级超声振动清洗装置在特定工作环境下的工作状态。
4. 参考文献
[1]孙恒, 陈作模.机械原理(第7版), 2006, (05)
[2]濮良贵.机械设计(第九版), 2013, (05)
[3]成大先.机械设计手册(第5版), 2014,(05)
5. 工作计划
1．2022-2-26～2022-3-2 查阅资料，了解喷淋式兆赫级超声振动清洗装置总体结构国内外研究现状和发展前景，了解。撰写开题报告和翻译外文资料；
2．2022-3-3～2022-3-9 查阅相关资料，确定喷淋式兆赫级超声振动清洗装置总体结构设计；
3．2022-3-10～2022-3-30 喷淋式兆赫级超声振动清洗装置总体结构设计；
以上是毕业论文开题报告，课题毕业论文、任务书、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
